Z1축(검출기) : 5mm (분해능: 0.0008μm / 최소 범위가 0.05mm인 경우 적용 가능) – X축 : 100mm (분해능: 0.05μm)
최대 3M까지 측정 가능세계 최초 Carbon Fibre로 제작된 측정기
SWISS TRIMOS SA의 2차원 측정기